Hệ Vi-cơ điện tử – MEMS

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) là một thiết bị và thiết bị này là một Hệ thống vi cơ điện tử được tích hợp từ các thành phần cơ khí, cảm biến, bộ chấp hành (actuators) và các mạch điện tử cùng nằm chung trên một lớp nền silicon thông qua công nghệ vi chế tạo.  Ở […]